Sterilisering av etylenoxid (EtO) används huvudsakligen för att sterilisera medicinska och farmaceutiska produkter som inte kan stödja konventionell ångsterilisering vid hög temperatur – såsom enheter som innehåller elektroniska komponenter, plastförpackningar eller plastbehållare.
EtO-gas infiltrerar såväl förpackningar som själva produkterna för att döda mikroorganismer som finns kvar under produktions- eller förpackningsprocesser.Denna gas, blandad med luft i ett förhållande av minst 3 % EtO-gas, bildar en explosiv blandning.Kokpunkten för ren EtO-gas är 10,73 ºC vid atmosfärstryck.För det mesta är det blandat med kväve eller CO2.Detta explosiva tillstånd kräver ATEX-zonindelning (Intrinsic Safe Material) för både människors säkerhet och säkerheten för själva processen.